Podstawy MEMS: Techniki Mikro i Nanofabrykacji

Technologia zasilania nowoczesnych czujników, smartfonów i urządzeń medycznych opiera się na strukturach mniejszych niż ludzki włos.Zrozumienie, w jaki sposób te systemy mikro- i nanoskalowe są projektowane i produkowane, jest niezbędne dla inżynierii sprzętowej nowej generacji. Ten kurs tekstowy stanowi kompleksowe wprowadzenie do podstawowych procesów mikrofabrykacji i nanofabrykacja. Będziesz przejść od zrozumienia podstawowych właściwości krzemu do uchwycenia złożonych etapów chemicznych i fizycznych wykorzystywanych do budowy funkcjonalnych systemów mikroelektromechanicznych (MEMS). Zrozumieć podstawową terminologię, historię i podstawową fizykę MEMS i nanotechnologii. 2. Wyjaśnij krok po kroku procesy fotolitografii, osadzania i trawienia w środowisku czystym. 3. Analizuj właściwości mechaniczne i elektryczne krzemu i alternatywnych materiałów podłoża. 4. Porównaj techniki mikroobróbki masowej i powierzchniowej w celu tworzenia złożonych mikrostruktur 3D. 5.Zbadaj nowoczesne osiągnięcia w zakresie produkcji, w tym litografię nanoimprint i trawienie o wysokim współczynniku proporcji. 6.Oceń protokoły bezpieczeństwa w pomieszczeniach czystych, kontrolę zanieczyszczeń i metody kontroli jakości. Kurs zaczyna się od podstawowych pojęć fizyki mikroskali i nauki o materiałach, zanim przeprowadzi Cię przez procesy chemiczne i fizyczne stosowane w nowoczesnych pomieszczeniach czystych.Będziesz uczyć się rzeczywistych struktur urządzeń MEMS, takich jak akcelerometry i czujniki ciśnienia, aby zobaczyć, jak te etapy produkcji łączą się w praktyce. Zaprojektowany dla studentów inżynierii, techników i ciekawskich profesjonalistów, którzy nie znają nanotechnologii, ten kurs nie wymaga wcześniejszego doświadczenia w pomieszczeniach czystych.Zacznij czytać już dziś, aby zbudować silne podstawy w świecie inżynieri mikro i nanoskalowej.